穩定，是一切測量的核心
對于任何測量設備而言，測量是否穩定無疑是評價其性能優劣的核心項目之一。一臺性能卓越的測量設備，必須能夠在各種復雜環境下保持高精度和一致性，從而為用戶提供值得信賴的測量結果。
Walesurf10卓越的隔振系統、高精度測量構件以及非凡的穩定性表現，成為了眾多領域中的理想測量設備。它能夠以高精度、高穩定性完成各項測量任務，為用戶提供準確可靠的測量結果，是性能優越的典范之作。
高精度形貌測量儀WaleSurf10系列
產品參數PRODUCT PARAMETERS
| 項目 | WaleSurf-10 | WaleSurf-10 plus | ||
| 測量范圍 | X軸 | 120-150mm | 120-220mm | |
| X軸分辨率 | 1.2nm | 1nm | ||
| Z軸 | 320-620mm | 320-620mm | ||
| 輪廓傳感器 | Z1軸量程 | ±5、±7、±10mm可選 | ±5、±7、±10mm可選 | |
| Z1分辨率 | 1.2nm | 1nm | ||
| 輪廓精度 | Z1線性精度 | ≤±(0.3+|0.02H|)μm | ≤±(0.2+|0.015H|)μm | |
| 圓弧 | 士(0.8+R/12)μm | 士(0.5+R/12)μm | ||
| 圓弧Pt | ≤0.3μm | ≤0.2μm | ||
| 角度 | ±1′ | ±1′ | ||
| 直線度 | 0.2um/100mm(截止波長0.8) | 0.1um/100mm(截止波長0.8) | ||
| 粗糙度精度 | 指示精度 | ≤±(5nm +2%) | ≤±(3nm +1.8%) | |
| 殘值噪聲 | ≤0.005μm | ≤0.002μm | ||
| 重復性 | 1δ≤1nm | 1δ≤0.8nm | ||
| 截止波長 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | ||
| 評定長度 | λC×2、3、4、5、6、7 | λC×2、3、4、5、6、7 | ||
| 驅動速度 | X軸驅動方式 | 電動 | 電動 | |
| Y軸驅動方式 | 電動 | 電動 | ||
| X軸驅動速度 | 0.1-20mm/s | 0.1-20mm/s | ||
| Z軸驅動速度 | 0.5-50mm/s | 0.5-50mm/s | ||
測量案例
Measurement case
