ITC設備采用全新的智能跟蹤測量法，通過先進的雙軸聯動運動控制算法和零滯后的精密運動軸對被測件表面輪廓進行智能實時跟蹤仿形，掃描被測件的二維輪廓點云，再通過專用的軟件算法，對數據進行處理，實現測量功能。
先進的理念，科學的方法，使設備具有極高的精度，在測量穩定性、測量速度和量程方面同樣具有其他設備不可比擬的優勢！
智能實時跟蹤測量儀ITC系列
產品參數PRODUCT PARAMETERS
| 型號 | ITC1000 | ITC3000 | ITC5000 | ||||||||
| 11 | 12 | 12 | 13 | 14 | 14 | 15 | 16 | 17 | 18 | ||
| 導軌單元 | |||||||||||
| 導軌結構 | 混合式 | 混合式 | 混合式 | 混合式 | |||||||
| 測量范圍 | X軸 | ≥185mm | ≥225mm | ≥225mm | ≥265mm | ≥325mm | ≥325mm | ≥365mm | ≥425mm | ≥525mm | ≥625mm |
| Z軸 | ≥185mm | ≥225mm | ≥225mm | ≥265mm | ≥325mm | ≥325mm | ≥365mm | ≥425mm | ≥425mm | ≥425mm | |
| 直線度 | X軸 | ≤0.55μm/100mm | ≤0.45μm/100mm | ≤0.25μm/100mm | ≤0.7μm/100mm | ||||||
| Z軸 | ≤0.6μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.3μm/100mm | ≤0.3μm/100mm | |||||||
| 導軌殘值噪聲 | X軸 | Ra≤0.025μm | Ra≤0.012μm | Ra≤0.006μm | Ra≤0.012μm | ||||||
| Z軸 | Ra≤0.025μm | Ra≤0.015μm | Ra≤0.01μm | Ra≤0.01μm | |||||||
| 傳感器單元 | |||||||||||
| 分辨率 | X軸 | 0.02μm | 0.01μm | 0.001μm | 0.001μm | ||||||
| Z軸 | 0.02μm | 0.01μm | 0.001μm | 0.001μm | |||||||
| Z軸測量系統 | 雙反饋 | 雙反饋 | 雙反饋 | 雙反饋 | |||||||
| 輪廓測量精度 | |||||||||||
| 距離測量 | X軸 | ±(1.5+L/100)μm | ±(0.8+L/100)μm | ±(0.6+0.9L/100)μm | ±(1.2+L/100)μm | ||||||
| Z軸 | ±(1.5+H/100)μm | ±(0.8+H/100)μm | ±(0.6+0.9H/100)μm | ±(0.6+0.9H/100)μm | |||||||
| 圓弧測量 | ±(1.2+R/15)μm | ±(0.8+R/15)μm | ±(0.8+R/12)μm | ±(1.5+R/10)μm | |||||||
| 形貌測量精度 | |||||||||||
| 圓弧Pt | ≤0.8μm | ≤0.5μm | ≤0.3μm | ≤0.6μm | |||||||
| 直線Pt | ≤0.8μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.5μm/100mm | ≤0.6μm/100mm | |||||||
| 運動控制 | |||||||||||
| 測量方向 | T | 雙向 | 雙向 | 雙向 | 雙向 | ||||||
| L | 單向 | 單向 | 單向 | 單向 | |||||||
| 自動接觸 | T | 雙向自動接觸 | 雙向自動接觸 | 雙向自動接觸 | 雙向自動接觸 | ||||||
| L | 單向自動接觸 | 單向自動接觸 | 單向自動接觸 | 單向自動接觸 | |||||||
| 測量速度 | 0.2mm/s~0.７mm/s | 0.2mm/s~0.７mm/s | 0.2mm/s~3mm/s | 0.2mm/s~3mm/s | |||||||
| 移動速度 | 5~10mm/s | 5~10mm/s | 5~30mm/s | 5~30mm/s | |||||||
| X軸末端控制 | 自鎖 | 自鎖 | 自鎖 | 自鎖 | |||||||
